百級無塵烘箱測控系統及安全保護措施
百級無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影
后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非
易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
百級無塵烘箱測控系統及安全保護措施:
1、控制儀表:進口數顯溫度控制器,PID調節,控制精度0.1℃;
2、溫度測量傳感器:Pt100鉑電阻;
3、控制系統:主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進口元氣件;
4、超溫保護儀表:獨立于工作室主控制的超溫保護系統,保證試驗品的安全;
百級無塵烘箱產品特點
●結構材料:內外全部采用SUS304#不銹鋼板制作無塵無污染,耐酸堿腐蝕環保,美觀大方
●保溫材料:使用高密度進口巖棉,雙層保溫層,爐門采用高溫硅膠緊迫,保溫、密封性能好。
●溫控系統:采用RKC智能型溫控器PID自動演算,配合SSR固態斷電輸出,確保控制溫度。
●運風方式:左出風,右邊回風循環;特殊風道設計,爐內溫差均勻性好。
●安全裝置:電機過載保護,漏電保護,相序保護,雙重防超溫保護裝置;所有發熱管與爐體外殼隔絕緣保證設備使用安全。